感應(yīng)式非接觸式位置傳感器的運(yùn)動(dòng)控制原理技術(shù)
感應(yīng)式非接觸式位置傳感器是用于運(yùn)動(dòng)控制應(yīng)用的高精度傳感器。該傳感器旨在監(jiān)測(cè)光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)的精確運(yùn)動(dòng)，該系統(tǒng)測(cè)量航天飛機(jī)窗戶(hù)中的缺陷。感應(yīng)式非接觸式位置傳感器可應(yīng)用于精密運(yùn)動(dòng)控制、機(jī)器人運(yùn)動(dòng)、醫(yī)療診斷、MEMS加速度計(jì)和振動(dòng)監(jiān)測(cè)。
位置傳感器用于一系列應(yīng)用，并且有多種類(lèi)型可根據(jù)應(yīng)用需求量身定制。當(dāng)前的非接觸式感應(yīng)傳感器價(jià)格便宜但不精確。包括渦流傳感器、電容傳感器和光學(xué)/激光位置傳感器在內(nèi)的其他傳感器類(lèi)型具有高精度，但更大、更昂貴，并且需要復(fù)雜的算法來(lái)操作。
與其他位置傳感器相比，該技術(shù)精度高、體積小、價(jià)格便宜，并提供絕對(duì)位置。它可以在200微米的總范圍內(nèi)測(cè)量低至400納米的位置精度。該傳感器使用廉價(jià)的現(xiàn)成組件，總體積不到一立方英寸。通過(guò)使用低成本的微控制器，高度線性的輸出使計(jì)算變得容易。高信噪比允許傳感器在嘈雜的環(huán)境中運(yùn)行。
雖然最初設(shè)計(jì)為一維傳感器，但在實(shí)驗(yàn)室中進(jìn)行的額外工作改進(jìn)了設(shè)計(jì)，使其成為二維的，并提供了作為傾斜/傾斜傳感器的功能。額外的工作還將線性工作區(qū)域從大約30度擴(kuò)展到大約70度。傳感器設(shè)計(jì)可以放大，以適應(yīng)更大的運(yùn)動(dòng)范圍；但是，放大設(shè)計(jì)可能會(huì)導(dǎo)致分辨率下降。
