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超薄型DIF01手動位移滑臺
發(fā)布時間：2025-06-25 15:17:52點擊量：
DIF01手動位移滑臺采用高精度交叉滾柱導軌與微分頭驅(qū)動系統(tǒng)，專為超精密光學及微納制造領域設計。其零膨脹陶瓷合金基座配合主動溫控技術，實現(xiàn)±0.002mm的極端定位精度，熱穩(wěn)定性達±0.1μm/℃。適用于光刻機校準、量子實驗等納米級應用場景，可選真空兼容版本（10??Pa）。
核心特點：
（1）亞微米級精度：激光干涉儀校準導軌，分辨率0.0005mm
（2）環(huán)境免疫：主動溫控+磁懸浮隔振（振動＜1nm RMS）
（3）無塵運動：真空鍍膜導軌面（出氣率＜10?11Torr·L/s）
（4）智能互聯(lián)：支持5G實時數(shù)據(jù)監(jiān)測（±0.5μm同步精度）
（5）超長壽命：石墨烯潤滑層（摩擦系數(shù)＜0.001）
