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標(biāo)準(zhǔn)型DIL31手動(dòng)位移滑臺(tái)
發(fā)布時(shí)間：2025-06-25 16:15:46點(diǎn)擊量：
標(biāo)準(zhǔn)型DIL31手動(dòng)位移滑臺(tái)采用高精度交叉滾柱導(dǎo)軌與微分頭驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，專為超精密測(cè)量與光學(xué)調(diào)整設(shè)計(jì)。其零膨脹合金基座配合主動(dòng)溫控技術(shù)，實(shí)現(xiàn)±0.002mm重復(fù)定位精度，熱穩(wěn)定性達(dá)±0.1μm/℃，適用于光刻機(jī)校準(zhǔn)、量子實(shí)驗(yàn)等納米級(jí)應(yīng)用場(chǎng)景。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
1.納米級(jí)精度：預(yù)壓交叉滾柱導(dǎo)軌，背隙＜0.3μm
2.溫度穩(wěn)定：主動(dòng)溫控系統(tǒng)（24小時(shí)漂移＜0.1μm）
3.無(wú)塵設(shè)計(jì)：真空兼容版本可選（10??Pa）
4.智能監(jiān)測(cè)：內(nèi)置振動(dòng)傳感器（靈敏度0.01μm）
5.快速切換：模塊化結(jié)構(gòu)支持電動(dòng)升級(jí)
