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高精度微分頭驅(qū)動DIWO1手動位移滑臺，分辨率達0.5μm，配備交叉滾柱導軌，重復定位精度±0.002mm。硬質(zhì)氧化鋁合金主體兼具輕量化與高剛性，適用于超精密光學調(diào)整、微納加工定位等亞微米級需求場景，是科研實驗與高端制造的理想微位移平臺。

一、產(chǎn)品特點

·超微米驅(qū)動：0.5μm微分頭，支持0.1μm微調(diào)（選配）

·零背隙結(jié)構(gòu)：彈性預緊機構(gòu)消除回程誤差

·熱穩(wěn)定設(shè)計：低熱膨脹材料+隔熱底座接口

·全封閉導軌：防塵密封，適合潔凈環(huán)境

·模塊化擴展：支持XYZ多軸串聯(lián)

二、性能參數(shù)

·分辨率：0.5μm（標配），可選0.1μm高精度微分頭

·重復精度：±0.002mm（20℃恒溫環(huán)境）

·最大負載：10kg（水平）/5kg（垂直）

·行程范圍：10-25mm（標準款），可定制50mm

·溫度敏感性：≤0.05μm/℃（配合恒溫底座）

三、核心應用

1.超精密光學元件裝調(diào)

2.掃描探針顯微鏡樣品定位

3.微電子封裝設(shè)備對準

4.量子實驗裝置微位移控制