MEMS傳感器芯片制造，MEMS傳感器通用規(guī)格組件性能！
由于微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）器件制造的進(jìn)步，此類傳感器已成為具有優(yōu)異性能/成本比的大眾市場產(chǎn)品。TILTIX傾角儀的基本測量組件是嵌入在完全封裝的ASIC中的MEMS傳感器單元。
通用規(guī)格
1、傳感器循環(huán)時(shí)間：這是基礎(chǔ)傳感器的內(nèi)部循環(huán)時(shí)間。5ms的循環(huán)時(shí)間意味著位置值每5ms更新一次。
2、接口周期時(shí)間：這是通過通信接口傳輸位置值的周期時(shí)間。與傳感器循環(huán)時(shí)間（固定值）相比，客戶可以在接口級別輕松調(diào)整接口循環(huán)時(shí)間。
3、絕對精度：絕對精度是在定義的范圍內(nèi)測量位置與實(shí)際位置之間的最壞情況偏差。
4、偏移：當(dāng)傾角儀位于零位時(shí)，輸出會出現(xiàn)較小的偏差。這種零電平誤差稱為偏移誤差。
5、動(dòng)態(tài)精度：該精度的確定方式與絕對精度相同，只是設(shè)備受到外部振動(dòng)和加速度的影響。動(dòng)態(tài)精度是在模擬移動(dòng)機(jī)器移動(dòng)環(huán)境的不同設(shè)備上進(jìn)行實(shí)驗(yàn)室測試時(shí)確定的。
所規(guī)定的動(dòng)態(tài)精度作為參考值；我們建議在您自己的機(jī)器上評估動(dòng)態(tài)行為，因?yàn)檎駝?dòng)和沖擊因機(jī)器而異。
實(shí)驗(yàn)室測試使用以下設(shè)備進(jìn)行：
1、線性加速度：傳感器在1秒內(nèi)沿一個(gè)軸以10 m/s2加速
2、振動(dòng)：1-1000 Hz之間的不同振動(dòng)頻率，力為1g
3、解決方案：這是盡可能最小的步驟
4、滯后：滯后的定義是系統(tǒng)的輸出值不僅取決于實(shí)際輸入，還取決于過去的輸入。對于傾斜儀來說，這意味著測量的傾斜角度也取決于過去的位置。無論傾斜儀傾斜0°到10°還是20°到10°，都會有微小的差異。這種差異通過滯后現(xiàn)象來描述。
5、溫度梯度：該值描述了溫度變化時(shí)測量的傾斜角度的變化。如果傾斜儀處于靜止位置，溫度降低或升高，輸出值也會根據(jù)溫度梯度而變化。
6、穩(wěn)定時(shí)間：這是描述系統(tǒng)動(dòng)態(tài)行為的值。穩(wěn)定時(shí)間定義了傾斜計(jì)信號到達(dá)最終位置并保持在最終位置5%范圍內(nèi)所需的時(shí)間。
