mems氣體流量傳感器是什么，MEMS傳感器的感應(yīng)技術(shù)應(yīng)用
MEMS氣體流量傳感器：高精度，檢測(cè)流量范圍廣，適用于各種需求的流量計(jì)測(cè)。MEMS壓力傳感器：性能偏差小的MEMS壓力傳感器。MEMS非接觸溫度傳感器：對(duì)靜止人體也能檢測(cè)，高靈敏度的人體感應(yīng)傳感器。MEMS開(kāi)關(guān)：高頻，小型，長(zhǎng)壽命的MEMS開(kāi)關(guān)。
MEMS即微機(jī)電系統(tǒng)（Microelectro Mechanical Systems）是在微電子技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的多學(xué)科交叉的前沿研究領(lǐng)域。經(jīng)過(guò)四十多年的發(fā)展，已成為世界矚目的重大科技領(lǐng)域之一。它涉及電子、機(jī)械、材料、物理學(xué)、化學(xué)、生物學(xué)、醫(yī)學(xué)等多種學(xué)科與技術(shù)，具有廣闊的應(yīng)用前景。截止到2010年，全世界有大約600余家單位從事MEMS的研制和生產(chǎn)工作，已研制出包括微型壓力傳感器、加速度傳感器、微噴墨打印頭、數(shù)字微鏡顯示器在內(nèi)的幾百種產(chǎn)品，其中MEMS傳感器占相當(dāng)大的比例。
MEMS傳感器是采用微電子和微機(jī)械加工技術(shù)制造出來(lái)的新型傳感器。與傳統(tǒng)的傳感器相比，它具有體積小、重量輕、成本低、功耗低、可靠性高、適于批量化生產(chǎn)、易于集成和實(shí)現(xiàn)智能化的特點(diǎn)。同時(shí)，在微米量級(jí)的特征尺寸使得它可以完成某些傳統(tǒng)機(jī)械傳感器所不能實(shí)現(xiàn)的功能。
當(dāng)發(fā)生振動(dòng)時(shí)，傳感器處于連續(xù)的通、斷狀態(tài)。通過(guò)有針對(duì)性的緩沖結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和更優(yōu)化的MEMS芯片布局，顯著降低了MEMS型光濾波器在在線振動(dòng)沖擊試驗(yàn)中的頻率漂移，通常使用在震動(dòng)報(bào)警中，比如汽車防盜、自行車防盜、家庭物品移動(dòng)報(bào)警等。凡是需要移動(dòng)報(bào)警的場(chǎng)合都適用。
根據(jù)濾波器的選頻作用可分類：低通濾波器從0到f2頻率之間，幅頻特性平直，它可以使信號(hào)中低于f2的頻率成分幾乎不受衰減地通過(guò)，而高于f2的頻率成分受到極大地衰減。高通濾波器與低通濾波相反，從頻率f1到∞，其幅頻特性平直。它使信號(hào)中高于f1的頻率成分幾乎不受衰減地通過(guò)，而低于f1的頻率成分將受到極大地衰減。帶通濾波器它的通頻帶在f1到f2之間。它使信號(hào)中高于f1而低于f2的頻率成分可以不受衰減地通過(guò)，而其它成分受到衰減。帶阻濾波器與帶通濾波相反，阻帶在頻率f1到f2之間。它使信號(hào)中高于f1而低于f2的頻率成分受到衰減，其余頻率成分的信號(hào)幾乎不受衰減地通過(guò)。
