電容式位移傳感器作用類(lèi)型有幾種,如何實(shí)現(xiàn)傳感器位移測(cè)量?
對(duì)于一般的聲發(fā)射應(yīng)用,信號(hào)頻帶范圍大多在25kHz~750khz之間,因此諧振傳感器更適合。金屬材料和其他應(yīng)用通常使用一般寬帶頻率為150kHz的諧振窄帶傳感器;對(duì)于腐蝕、泄漏等聲發(fā)射信號(hào),常用諧振頻率為40KHz的諧振傳感器;由于寬帶傳感器在寬頻帶內(nèi)的響應(yīng)靈敏度相對(duì)較低,因此選擇寬帶傳感器進(jìn)行頻譜分析。清誠(chéng)聲發(fā)射傳感器采用優(yōu)質(zhì)不銹鋼材料,整體屏蔽設(shè)計(jì),有效減少干擾;適用于橋梁斷絲監(jiān)測(cè),閥門(mén)管道泄漏監(jiān)測(cè),刀具磨損監(jiān)測(cè),風(fēng)電設(shè)備監(jiān)測(cè),轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)備聲發(fā)射監(jiān)測(cè),結(jié)構(gòu)件損傷監(jiān)測(cè),儲(chǔ)罐底板聲發(fā)射監(jiān)測(cè)
電容式位移傳感器是通過(guò)改變電容兩極板間的電荷實(shí)現(xiàn)測(cè)量的。常用的方法有三種:變極板間距離的變極距型;改變極板面積的變面積型;還有就是改變介質(zhì)介電常數(shù)的變介質(zhì)型?,F(xiàn)在所介紹的是變極距型的電容式位移傳感器。電容式位移傳感器可以應(yīng)用在:壓電微位移、振動(dòng)臺(tái),電子顯微鏡微調(diào),天文望遠(yuǎn)鏡鏡片微調(diào),精密微位移測(cè)量等。
常見(jiàn)的有變截距型,便面積型,變介電常數(shù)型。但是用于位移測(cè)量的通常是采用變截距原理的。也就是用被測(cè)物體(需要具有導(dǎo)電性)作為電容的一個(gè)極板,用傳感器作為電容的另外一個(gè)極板。會(huì)影響這個(gè)電容電容值的因素就是距離,正對(duì)面積和間隙介質(zhì)。如果想用電容傳感器測(cè)位移,就要確保后兩者不會(huì)變化??梢詼y(cè)量導(dǎo)體材料和非導(dǎo)體材料(測(cè)量非導(dǎo)體材料時(shí),采用變介電常數(shù)原理)。絕對(duì)誤差可以達(dá)到0.1微米,分辨率達(dá)到0.0375納米。但是要求不能有油污和水等影響因素(恒定的油污和水也是可以補(bǔ)償?shù)模缓愣ǖ木蜁?huì)有問(wèn)題),否則會(huì)影響電容的介電常數(shù)。
變截距型,便面積型,變介電常數(shù)型傳感器的電極和被測(cè)物體的電極組成平板電容器的兩個(gè)極板,當(dāng)交流電源接在傳感器測(cè)量電極上時(shí),傳感器測(cè)量電極上產(chǎn)生的交流電壓與平板電容器電極之間的距離成正比,從而實(shí)現(xiàn)位移測(cè)量。